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光刻胶粘度测试影响因素及粘度值确定方法研究

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摘要摘要：使用RE215L锥板粘度计对光刻胶样品的表观粘度进行了测试，通过分析转动时间，转速及扭矩等因素对光刻胶粘度的影响，验证了转速对粘度，扭矩对粘度之间存在一定的线性关系。并对光刻胶的粘度测试方法进行了探索，验证合适的扭矩对粘度的测量具有重要的意义，可为光刻胶粘度的测定及在基板上方涂布应用提供参考价值。

DOI 54yyknnrm4/8106776

作者娄季攀

机构地区（江苏博砚电子科技股份有限公司，江苏宜兴 214200

出处《科技新时代》 2024年1期

关键词光刻胶粘度转速扭矩影响因素

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2024年03月28日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）