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退火气氛对ZnO：N薄膜的光电性质影响

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摘要研究了退火气氛对ZnO：N（氮掺杂的氧化锌）薄膜的光电性质影响。结果发现，n型电导原位生长的ZnO：N薄膜样品，经过600℃O2气氛下退火后，样品A表现为P型电导特征；而经过600。CNz气氛下退火后，样品B仍然表现为n型电导特征。低温光致发光光谱（PL）测试表明，样品A和样品B的发光光谱最大的差别为样品A的低温发光光谱中具有与受主相关的发光峰，峰位位于3．348eV；样品B的低温发光光谱中具有与施主相关的发光峰，峰位位于3．358eV。

DOI n490vkpx4y/800411

作者王相虎;李荣斌;田亚丽

机构地区不详

出处《上海电机学院学报》 2009年3期

关键词退火光电特性发光光谱

分类 [电气工程][电机]

出版日期 2009年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）