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一种600V VDMOS终端保护环结构的设计

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摘要本文详细讨论了VDMOS终端保护环结构各部分，即保护环、保护环间隙和场板的作用及设计方法。结合600VVDMOS的外延电阻率和厚度，一种600VVDMOS终端保护环结构被成功设计出来。

DOI kd20gxp046/777938

作者高东岳

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2009年8期

关键词保护环保护环间隙和场板

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2009年08月18日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国集成电路

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保护环保护环间隙和场板

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