首页 > 《科技新时代》 > 2023年2期 > 单晶硅生产设备电网闪络现象的预防

单晶硅生产设备电网闪络现象的预防

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要：随着科学技术的快速发展，单晶硅这一良好的半导材料应用范围越来越广，尤其是在高科技和高技术领域的深入应用，让这一材料的潜能和优势凸显出来，进而成为备受人们关注和重视的资源之一。单晶硅生产设备的稳定性和高效性是保障单晶硅生产效率的根本条件，更是影响单晶硅质量的关键因素。然而，由于多种因素导致单晶硅生产设备会出现电网闪络现象，给正常生产带来较大阻力，甚至会影响单晶硅的安全性和使用寿命。基于此，本文深入分析了单晶硅生产设备电网闪络现象的原因及预防措施，以供相关人士参考。

DOI wjvg1kxwj7/6968550

作者高海军

机构地区浙江海纳半导体股份有限公司 324300

出处《科技新时代》 2023年2期

关键词单晶硅生产设备电网闪络预防措施

分类 [][]

出版日期 2023年04月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1高磊刘佳佳. 浅析单晶硅的生产现状.文化科学,2018-08.
2包平. 单晶硅电池生产主要安全风险点.建筑技术科学,2024-08.
3朱皓天. 单晶硅行业电能质量治理方案.,2023-04.
4郭建光. 单晶硅生产工艺的优化与能效改进研究.建筑技术科学,2024-08.
5王巍峰. 单晶硅棒生产能耗分析及综合节能对策分析.建筑设计及理论,2016-12.
6顾晓伟1，曹自洋1,2,*，许顺杰1,2，赵航宇1. 单晶硅微细铣削表面质量实验研究.产业经济,2021-01.
7孙建起;王宁宁. 单晶硅光伏电池基本特性参数研究.教育学,2015-06.
8韩永龙高玉顺何旭. 单晶硅生长技术及氧缺陷控制方法.电力系统及自动化,2019-06.
9胡光耀. 单晶硅切片厂房通风与空调施工探讨.建筑理论,2024-04.
10施尚林. 集成电路的基础材料—单晶硅的发展.物理电子学,2003-01.

来源期刊

科技新时代

2023年2期

单晶硅生产设备电网闪络现象的预防

来源期刊

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

单晶硅生产设备电网闪络现象的预防

来源期刊

相关推荐

同分类资源 更多

相关关键词

同分类资源更多