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硅片制造业机电一体化发展研究

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摘要摘要：机电一体化技术是将硅片技术、电工电子技术、微电子技术、信息技术、传感器技术、接口技术、信号变换技术等多种技术进行有机地结合，并综合应用到实际中去的综合技术。随着机电一体化在硅片制造业的成熟应用，为硅片制造业创造了新的发展方向和发展动力，随着科学技术的飞速发展，带动了机电一体化的更新换代。

DOI 6jrkg29y45/6278715

作者安保贞

机构地区 130530198607120027

出处《工程管理前沿》 2022年8期

关键词硅片制造业机电一体化发展

分类 [天文地球][工程地质学]

出版日期 2022年07月30日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）