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常见真空获得设备结构原理与典型故障分析

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DOI n49m6xozjy/6158183

作者王海利

机构地区中国航发动力股份有限公司陕西西安 710021

出处《科学与技术》 2021年25期

关键词真空机械泵罗茨泵扩散泵抽速

分类 [建筑科学][建筑技术科学]

出版日期 2022年07月14日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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