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硅压阻压力传感器的发展现状与应用研究

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摘要摘要：传感器技术是自动化等新技术融合产物，伴随我国微、硅加工技术的进一步发展，使硅压阻式压力传感器产生和进一步发展，技术被应用到各行各业中，提升压了力传感器的应用性能。硅压阻式压力传感器设备发展空间很大，有着很广阔的应用前景，目前已经被广泛应用到工业领域，如水文水利、石油开采、工业测量等方面。伴随硅压阻式压力传感器的逐步应用，产生很多全新的压力传感器理论与全新的技术与新方法，使新材料与新工艺的研究逐渐成为未来压力传感器的发展方向。本文主要探析了硅压力传感器的发展现状与应用，如下是详细研究内容。

DOI 5jomzw20dv/6090084

作者魏娜

机构地区麦克传感器股份有限公司西安分公司陕西西安 710000

出处《家园·电力与科技》 2022年4期

关键词硅压阻压力传感器发展现状应用举措

分类 [][]

出版日期 2022年07月06日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）