摘要
摘要：由于半导体芯片厂房生产工艺的特殊性，各种生产机台需要全年持续运行，热回收冷水机组在半导体厂房的应用能大量回收这些工艺机台废热并制成低温热水供工艺空调和舒适性空调的加热盘管，冬季使用以及洁净工艺空调的再热盘管夏季使用同时还可以供给纯水制备系统，将进入RO膜之前的水加热到25℃，保证稳定的纯水处理效果。这些废热的再利用特别是冬季的近乎100%的回收利用，降低了热水系统锅炉装机容量，并显著减少冬季锅炉燃气的消耗量，由于大部分热量被回收和利用，使冬季冷却塔和水泵的运行台数和负载大幅降低，有效地降低了冷却水系统运行成本。
出版日期
2021年05月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
