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电子工业洁净厂房净化空调系统设计

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摘要摘要：近年来，国内大力支持和发展半导体技术，而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展，洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高，而一些生产制造设备在工艺制程中，不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放，在排放废气的同时，为了维持洁净厂房的正压环境，则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气，用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。

DOI pj0vvw7xdy/5188227

作者王丽歆

机构地区信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司天津分公司天津 300061

出处《建筑实践》 2021年4期

关键词电子工业洁净厂房净化空调系统设计

分类 [文化科学][]

出版日期 2021年05月10日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）