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Design and Fabrication of Hybrid Piezomotor Applied in Precision Positioning Devices

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摘要马达的配置被设计，动态分析方程基于它的简化模型被推出。利用栅栏的一个严峻的系统被设置测试这台新马达，和理论运动原则因为马达被实验证明。脉搏波形被使用驱使马达搬到步。马达有10nm和0.6mm/s的最大的速度的一个排水量决定。它能驾驶其范围是20公里的200g滑块。放站台的一个维的精确被使用新混合压电的马达制作。原型由二台伺服马达和二台压电的马达组成，它被一台计算机自动地控制。站台的放的范围是10厘米。

DOI zdl1qgp24l/500640

作者 CHENG Dong-ming DUAN Zhi-yong MA Feng-ying GONG Qiao-xia

机构地区不详

出处《半导体光子学与技术：英文版》 2007年1期

关键词精密定位装置压电电动机设计构造微机械系统

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2007年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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半导体光子学与技术：英文版

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