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衬底状态及热处理对Sm-Fe GMFs磁致伸缩性能的影响

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摘要采用IBS法在锡青铜衬底上溅射沉积Sm-Fe非晶态超磁致伸缩薄膜，研究衬底的表面状态和薄膜热处理对Sm-Fe薄膜磁致伸缩性能的影响。实验结果表明，锡青铜衬底状态对Sm-Fe超磁致伸缩薄膜磁伸性能有很大影响。样品经过200℃真空热处理后，100mT内dλ/dH值从制备态Sm-Fe薄膜的0．71×10^-3T^-1提高到2．48×10．3T^-1，薄膜低场磁敏性得到显著提高。

DOI wjv5pm16d7/497098

作者庄辉虎;周白杨;陈伟海;毛宏英

机构地区不详

出处《福建工程学院学报》 2007年1期

关键词离子束溅射 Sm-Fe薄膜磁伸性能高真空热处理

分类 [文化科学][高等教育学]

出版日期 2007年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）