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纳机电系统研究进展

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摘要综述了纳机电系统（NEMS）的研究进展；介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展，以及一些典型NEMS器件的应用；讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术；探讨了NEMS研究发展趋势。

DOI ojnl32y5dr/472685

作者何洋;姜澄宇;苑伟政

机构地区不详

出处《纳米科技》 2006年5期

关键词纳机电系统纳米技术航空航天

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2006年05月15日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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