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简易匀胶机系统研制与应用

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摘要摘要主要就简易匀胶机系统的结构设计、控制电路设计、技术特点、工作原理、性能、应用场合、影响质量的关键因素等进行了阐述。

DOI 0dpy38q9d2/4186421

作者刘吉东

机构地区沈阳芯源微电子设备有限公司110168

出处《探索科学》 2017年2期

关键词匀胶机涂胶光刻

分类 [文化科学][]

出版日期 2017年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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