首页
期刊导航
期刊检索
论文检索
新闻中心
期刊
期刊
论文
首页
>
《科技研究》
>
2018年10期
>
半导体设备铝合金腔体水路堵塞、腐蚀问题分析
半导体设备铝合金腔体水路堵塞、腐蚀问题分析
打印
分享
在线阅读
下载PDF
导出详情
摘要
摘要半导体设备是芯片制备的载体,多用铝合金作腔体。本文以铝合金腔体出现的水路堵塞、腐蚀现象为研究对象。通过水路堵塞、腐蚀现象的状态展示,扫描电镜的化学成分分析及堵塞颗粒物成因模拟实验,探索、找寻堵塞、腐蚀现象的成因及解决办法。实验及分析结果表明因铝本身的化学活性易与多种材料(铜、铁、镍等)发生化学乃至电化学反应,以致形成颗粒状氧化物造成材料表面腐蚀及管路堵塞。
DOI
2d3ew52gj9/3399843
作者
陈英男
机构地区
(沈阳拓荆科技有限公司110000)
出处
《科技研究》
2018年10期
关键词
半导体设备
水路
铝
颗粒
堵塞
分类
[自然科学总论][系统科学]
出版日期
2018年10月20日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
相关文献
1
余廷义.
半导体设备维修分析
.建筑设计及理论,2015-12.
2
徐择君.
半导体设备维修分析
.市政工程,2023-03.
3
.
铝合金导体的推广势在必行
.焊接,2014-08.
4
刘巧娣,叶涛.
铝合金精密复杂腔体局部镀金工艺研究
.建筑技术科学,2020-12.
5
汪隆兴,周相宝.
小型薄壁铝合金腔体铣削变形控制工艺研究
.建筑理论,2024-07.
6
谭贤君.
半导体工艺设备中的加热装置及半导体工艺设备
.建筑技术科学,2024-07.
7
康昌武.
半导体工艺设备污染控制分析
.,2023-11.
8
曾信幸.
半导体设备预测性维修技术分析
.工程地质学,2024-04.
9
熊定贵,黄楠.
一种铝合金微波腔体表面处理工艺
.建筑技术科学,2022-09.
10
.
453010半导体设备与产品
.产业经济,2004-07.
来源期刊
科技研究
2018年10期
相关推荐
铝合金的腐蚀特点及检验对策
铝合金船舶的腐蚀及防腐工艺
半导体贴片设备流体分析工况概述
半导体贴片设备流体分析模型构建
半导体湿法腐蚀清洗设备排风结构优化及流场特性研究
同分类资源
更多
[系统科学]
21世纪新价值系统探究
[系统科学]
高压开关设备导电回路电阻量值溯源路径探讨
[系统科学]
浅谈新建四要素区域自动站安装与调试
[系统科学]
建筑电气工程质量控制及管理
[系统科学]
小学语文教学中存在的问题与反思
相关关键词
半导体设备
水路
铝
颗粒
堵塞
返回顶部