摘要
2Ddopantprofilingforadvancedprocesscontrol.Advancedanalysisofdynamicneuralcontroladvisoriesforprocessoptimizationandpartsmaintenance,Advancedprocesscontrolfor40nmGatefabrication.AdvancedProcessControl:Whatisitreally?Applicationofadvancedprocesscontrolwithneuralnetworkstocontrolpowerplantemissions.
出版日期
2005年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
