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基于微电子的静电防护简析

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摘要摘要近年来，随着我国经济的快速发展，我国信息产业的技术水平不断提高，聚合物材料和微电子器件广泛应用于各个领域及其产品。ESD是微电子器件的主要威胁。ESD严重影响了微电子器件的质量，威胁着器件的整体工作。为了保护微电子器件，需要从设计、生产、运输等角度对电子器件进行静电保护。本文对微电子器件静电保护的相关内容进行了研究，并提出了静电保护措施，为相关工作者提供参考。

DOI wjve9ngnd7/3301002

作者郑盛霞谢晓丰

机构地区郑盛霞谢晓丰

出处《防护工程》 2018年24期

关键词微电子静电防护 ESD

分类 [文化科学][]

出版日期 2018年12月22日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

防护工程

2018年24期

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