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激光技术在大规模集成电路中的应用及展望

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摘要摘要激光技术早在上个世纪八十年代就被投入到制造业进行使用，到现在经过几十年的发展，激光技术凭借其各项优秀的特性逐渐被各种领域所青睐。激光技术所具有的特点是允许进行精密操作，如今集成短路板的组成元件越来越小，需要的技术支持也越来越严格，激光技术恰好可以应用于此。广东省作为我国的经济要地，其集成电路在2018年的产量同比增长15.57%。出现这样的增长必然离不开现代科技的支持，譬如激光技术。本文便以广东省为研究对象对激光技术在大规模集成电路的应用进行探讨。

DOI lden78e5d3/3160841

作者吴佳霖

机构地区（东莞市恒好激光科技有限公司）

出处《电力设备》 2019年6期

关键词激光技术集成电路应用

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

电力设备

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