半导体厂房洁净空调系统要点分析

在线阅读 下载PDF 导出详情
摘要 摘要当前洁净室为高科研、高技术等产业的发展提供了物质基础,为这些行业生产和加工提供了必要的压力、温度、湿度、洁净度等。文章以半导体厂房为例,首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案,且结合笔者自身多年从事厂房洁净空调系统工作的经验,归纳总结了洁净空调系统设计当中些许关键性的设计要点,以期为相关应用设计及研究提供理论参考。
机构地区 冯晓娜
出处 《防护工程》 2018年4期
出版日期 2018年04月14日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)