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KY-70型蓝宝石长晶设备的研制刘海

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摘要摘要本文主要介绍上海汉虹精密机械有限公司研制并生产的一种蓝宝石长晶设备，该设备集水、电、气于一体，主要由晶体生长室、籽晶提拉旋转系统、真空系统、气路系统、冷却水系统、能量供应与控制系统、机架及其它附属设备等组成。该设备采用微提拉旋转泡生法技术，通过调控系统内的热量输送来全自动控制整个晶体的生长过程，追求生产效率最大化，工艺流程合理化而设计，实现晶体生长过程中，生长速率最大化，并且全过程最大限度的减少了人工操作。

DOI 54yzzgg9j0/3121804

作者刘海

机构地区（上海汉虹精密机械有限公司上海200444）

出处《当代电力文化》 2019年06期

关键词蓝宝石单晶 KY法晶体生长

分类 [电气工程][电力系统及自动化]

出版日期 2019年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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