首页 > 《科技中国》 > 2016年6期 > 基于微动平台超精密微运动测量技术研究

基于微动平台超精密微运动测量技术研究

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要摘要微纳制造技术给计量科学和计量仪器提出了新的测量任务，测量精度要求达到纳米级。研制低成本高精度的新测量方法已成为开发MEMS产品的迫切需要。在设计开发MEMS时，其系统功能主要是通过微结构的微小位移和变形来实现,MEMS微小位移和速度等微运动的测量成为开发MEMS的重要内容。

DOI odw6vzxy4k/3045080

作者邵秋峰1，王芳1，贾丽笑2

机构地区 (1装甲兵工程学院，北京，100039；2燕山大学，秦皇岛，066004）

出处《科技中国》 2016年6期

关键词微运动微纳技术微测量

分类 [文化科学][]

出版日期 2016年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1邓博浩,赵钦正,杜希洋. 光刻机运动台超精密控制技术研究综述.建筑技术科学,2023-10.
2黄红艳. 基于误差分离的圆柱度精密测量技术研究.文化科学,2018-02.
3任展鹏,寇帅伟. 基于运动平台下的杂波抑制技术研究.建筑技术科学,2022-09.
4柳斌. 用于精密测量的激光测距技术研究.,2022-09.
5柳斌. 用于精密测量的激光测距技术研究.,2022-11.
6许爽. 齿轮制造中的精密测量技术研究.建筑技术科学,2024-10.
7叶航海. 基于计算机视觉图像精密测量的关键技术研究.建筑技术科学,2021-05.
8朱小强. 超精密微机械制造技术研究进展.建筑设计及理论,2018-12.
9朱君昌. 浅析超精密微机械制造技术研究进展.建筑理论,2021-11.
10刘正平. 基于直线电机驱动精密运动控制技术实践研究.电力系统及自动化,2017-11.

来源期刊

科技中国

科技中国

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

微运动微纳技术微测量

返回顶部