首页 > 《电子与封装》 > 2004年2期 > Bipolar技术中多晶发射极的腐蚀

Bipolar技术中多晶发射极的腐蚀

在线阅读下载PDF 导出详情

摘要在现代比较先进的Bipolar技术中，一般采用多晶发射极结构，这种结构可以提高双极管放大倍数和频率响应特性，因此，这种结构得到广泛的应用。由于这种结构中多晶是直接和硅衬底接触的，多晶腐蚀时要注意过腐蚀量、腐蚀均匀性以及腐蚀后硅衬底的形貌问题。本文主要介绍在这种工艺过程中我们进行的相关实验以及控制方法。最后，简单介绍我们工艺开发的第一批结果。

DOI 3j797ykq41/2222577

作者郑若成;刘丽艳;徐政

机构地区不详

出处《电子与封装》 2004年2期

关键词 Bipo1ar技术多晶发射极腐蚀双极CMOS兼容实验设计

分类 [电子电信][物理电子学]

出版日期 2004年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

相关文献

1汤亮亮1刘珠明2. 锑化镓热光伏电池发射极优化制备研究.文化科学,2016-11.
2门晓丽. 多种接法下TTL与非门多发射极输入端的状态分析.高等教育学,2006-04.
3顾军,李红帅,刘磊,方圆斌. 一种新型选择性发射极太阳电池结构及工艺研究.,2023-05.
4张孙浩琛;虞铮栋;王强. 选择性扩散方式对硅基选择性发射极太阳电池性能的影响.职业技术教育学,2013-03.
5张文乾. 声发射技术在储罐腐蚀检测中的应用综述.建筑理论,2023-09.
6麻红格1,杨龙斐2,宋,强3. 声发射技术在储罐底板腐蚀检测中的应用.建筑技术科学,2022-06.
7马继奎;陈明敬;王涛;王鹏杰;张东升;安海娇. 腐蚀温度对多晶硅太阳能电池性能的影响.材料科学与工程,2013-02.
8周烨;李冰. 一种Bipolar结构中的闩锁效应.物理电子学,2009-01.
9张有润;张波;李泽宏;赖昌菁;李肇基. Thermal analytic bipolar junction model of current gain for transistor-bipolar static induction transistor compound device.物理,2009-02.
10彭力国. 可见发射（铟镓）铟磷激光二极管.无机化工,2001-04.

来源期刊

电子与封装

电子与封装

相关推荐

同分类资源更多

相关关键词

Bipo1ar技术多晶发射极腐蚀双极CMOS兼容实验设计

返回顶部