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北方微电子视员工为最宝贵资源

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摘要 <正>坐落于北京市经济技术开发区文昌大道8号的北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司(以下简称北方微电子),作为国内领先的高端半导体装备制造企业,所开发的刻蚀设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备等核心产品已广泛应用于集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、

DOI ojzz68p0j5/2200970

作者付希燕

机构地区不详

出处《现代职业安全》 2014年6期

关键词半导体照明设备工艺化学气相沉积微机电系统功率半导体物理气相沉积

分类 [环境科学与工程][安全科学]

出版日期 2014年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

北方微电子 视员工为最宝贵资源