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一种交叉梁硅微加速度开关的设计

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摘要针对一种新型交叉梁硅微加速度开关的设计技术进行了研究,首先推导了结构的静态刚度,确定了一种敏感芯片结构尺寸,在此基础上利用有限元方法仿真计算不同方向加速度作用下的结构变形情况.从结构特点和加工方法出发,分析了可能影响精度的几种加工误差,并给出了开关动作精度要求±5％时,梁厚的误差要求.其分析计算结果可指导该种类型加速度开关的设计和加工.

DOI 0dpn1o3042/2088345

作者李枚;王保安;胡军

机构地区不详

出处《中国惯性技术学报》 2003年3期

关键词交叉梁硅微加速度开关设计有限元方法结构变形加速度计

分类 [理学][力学]

出版日期 2003年03月13日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国惯性技术学报

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