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日东关东电化开发下一代C4F6浸蚀气

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DOI ojz810nnj5/1812346

作者

机构地区不详

出处《有机硅氟资讯》 2002年1期

关键词开发 C4F6浸蚀气日本关东电化工业公司六氟丁二烯浸蚀功能

分类 [化学工程][有机化工]

出版日期 2002年01月11日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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