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结合了激光和白光的混合共聚焦显微镜

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摘要日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦显微镜，将激光和白光源组合在一体，用于多功能高性能共聚显微镜。两组共焦光学器件与附加器件相结合，包括干涉仪、微分干涉对比观察和光谱反射膜厚度测量仪。

DOI odw8y1n3dk/1775608

作者

机构地区不详

出处《现代材料动态》 2017年9期

关键词共聚焦显微镜混合激光共焦显微镜白光光学器件

分类 [一般工业技术][材料科学与工程]

出版日期 2017年09月19日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

现代材料动态

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