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《半导体信息》
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2014年1期
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MEMS前景看好 道路曲折
MEMS前景看好 道路曲折
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摘要
<正>MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智
DOI
kd2m2emrj6/1572586
作者
赵佶
机构地区
不详
出处
《半导体信息》
2014年1期
关键词
道路曲折
MEMS
微型机电系统
微机电系统
执行器
接口电路
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2014年01月11日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
半导体信息
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