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《半导体信息》
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罕王斥资30亿在辽宁抚顺兴建MEMS晶圆厂
罕王斥资30亿在辽宁抚顺兴建MEMS晶圆厂
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摘要
<正>沈阳罕王集团是中国东北的大型民营铁矿生产集团,该公司已开始为微机电系统(MEMS)兴建一家大型晶圆厂。晶圆厂2012年3月动工兴建,位于沈阳以东40英里左右的抚顺。罕王计划投资30亿元人民币(约4.75亿美元),分三个阶段进行开发。罕王表示,尽管初期准备安装200毫米晶圆生产设备,但厂房是为满足"300毫米晶
DOI
6jr28y7x45/1564063
作者
吴琪乐
机构地区
不详
出处
《半导体信息》
2012年3期
关键词
晶圆厂
MEMS
晶圆生产
微机电系统
辽宁抚顺
后端处理
分类
[电子电信][物理电子学]
出版日期
2012年03月13日(中国期刊网平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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来源期刊
半导体信息
2012年3期
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