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Silicon Labs推出业界首款单晶片MEMS振荡器

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摘要 SiliconLabs（芯科实验室有限公司）日前宣布推出业界最高集成度基于MEMS的Si50x振荡器，旨在替代需要低成本、低功耗和批量生产的工业、嵌入式和消费类电子应用中的通用型晶体振荡器（XO）。新型Si50x振荡器基于SiliconLabs专利的CMEMS@技术，此为首个在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集成的高可靠“CMOS＋MEMS”单芯片解决方案。

DOI 3j7oyr0q41/1249929

作者

机构地区不详

出处《中国集成电路》 2013年7期

关键词晶体振荡器 MEMS SILICON LABS 单晶片大批量生产

分类 [电子电信][微电子学与固体电子学]

出版日期 2013年07月17日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）