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膜去溶进样高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级氢氟酸中杂质元素

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摘要利用高分辨电感耦合等离子体质谱法测定半导体级高纯氢氟酸中的痕量金属杂质，用膜去溶进样系统直接进样检测，无需前处理、快速，避免了在样品前处理时的污染问题。高分辨电感耦合等离子体质谱法可以消除多分子离子干扰，降低检出限，提高定量准确性。方法的检出限为0．09-37．07μg／L，加标回收率为92．3％-116．8％。方法简单，结果可靠，适用于高纯氢氟酸中痕量元素的快速测定。

DOI 6jryryxpd5/1135487

作者陈黎明

机构地区不详

出处《中国无机分析化学》 2012年2期

关键词膜去溶半导体级氢氟酸高分辨电感耦合等离子体质谱杂质元素

分类 [理学][化学]

出版日期 2012年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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来源期刊

中国无机分析化学

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