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光学薄膜参数测试

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摘要 O484.52003021238硅(001)衬底上生长的ZnO薄膜的AFM研究=AFMstudyofZnOthinfilmsonSi(001)substrates[刊,中]/章建隽(浙江大学信息科学与电子工程系.浙江,杭州(310028)),杨爱龄//电子显微学报.—2002,21(1).—39-42对采用电子束反应蒸镀方法低温下在硅(001)衬底上外延生长的ZnO薄膜的表面构像进行了原子力显微镜(AFM)观察,分析研究了不同的衬底温度对薄膜表面形貌及结构特性的影响。在250℃衬底温度下获得的ZnO

DOI n4977wy7jy/1037211

作者

机构地区不详

出处《中国光学》 2003年2期

关键词电子束反应蒸镀衬底温度原子力显微镜薄膜晶体管电子显微学报表面形貌

分类 [理学][物理]

出版日期 2003年02月12日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）