摘要
多晶的ZnO电影用收音机频率磁控管在是在不同时间的sputteretched的玻璃底层上劈啪作响被准备。两ZnO谷物和root-mean-square(RMS)的尺寸粗糙减少，底层的sputteretching时间增加。更多的Zn原子在这些电影被绑在O原子，并且缺点集中与增加底层的蚀刻噼啪声的时间被减少。同时，crystallinity和c轴取向在底层的更长蚀刻噼啪声的时间被改进。在99cm1，438cm1和589cm1的拉曼山峰作为E2被识别(低)，E2(高度)和E1(LO)模式，分别地并且E1(LO)山峰蓝色的位置变在更长蚀刻噼啪声的时间。这些电影的发射度，在底层上被扔并且为10蚀刻min和20min，比在30min的更长蚀刻噼啪声的时间下面扔的电影的在可见区域是更高的。bandgap随底层的蚀刻噼啪声的时间的增加从3.23eV增加到3.27eV。
出版日期
2011年06月16日（中国期刊网平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
